Tetramethylammoniumhydroxid (TMAH) CAS 75-59-2 (25 % wässrige Lösung)
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Chemischer Name | Tetramethylammoniumhydroxid (25 %ige wässrige Lösung) |
Synonyme | TMAH (25 % wässrige Lösung) |
CAS-Nummer | 75-59-2 |
CAT-Nummer | RF-PI1749 |
Lagerbestand | Auf Lager, Produktionsmaßstab bis zu Tonnen |
Molekularformel | (CH3)4NOH |
Molekulargewicht | 91,15 |
Brechungsindex (N20/D) | 1,378~1,384 |
Geruch | Starker ammoniakartiger Geruch |
Gefahrenhinweis | Hochgiftig!Brennbare Flüssigkeit! |
Marke | Ruifu Chemical |
Artikel | Spezifikationen |
Aussehen | Farblose Flüssigkeit |
Test | 24,5–25,5 % (Bestimmung durch Titration) |
Chlorid | <500 ppm |
Kalium (K) | <5ppm |
Natrium (Na) | <5ppm |
Farbe | <50APHA |
Teststandard | Unternehmensstandard |
Verwendung | für Photoresist-Forschung |
Paket: 25 kg/Trommel oder nach Kundenwunsch.
Lagerbedingungen:In verschlossenen Behältern kühl und trocken lagern;Vor Licht und Feuchtigkeit schützen.
Tetramethylammoniumhydroxid (TMAH) (CAS: 75-59-2) ist ein quartäres Ammoniumsalz, das aufgrund seiner hohen Siliziumätzrate im Allgemeinen als anisotropes Ätzmittel für Silizium, basisches Lösungsmittel bei der Entwicklung von saurem Fotolack im Fotolithographieprozess und als Tensid in verwendet wird die Synthese von Ferrofluid und als polarographisches Reagenz.Es findet Anwendung bei der Herstellung von organischem Silizium, wo es als Aufheller und Reinigungsmittel für Computer-Siliziumwaferoberflächen verwendet wird.Es ist auch an der Reinigung einiger metallischer Elemente beteiligt.