Hydroxyde de tétraméthylammonium (TMAH) CAS 75-59-2 (solution aqueuse à 25 %)
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Nom chimique | Hydroxyde de tétraméthylammonium (solution aqueuse à 25 %) |
Synonymes | TMAH (solution aqueuse à 25 %) |
Numero CAS | 75-59-2 |
Numéro de chat | RF-PI1749 |
État des stocks | En stock, échelle de production jusqu'à des tonnes |
Formule moléculaire | (CH3)4NOH |
Masse moléculaire | 91.15 |
Indice de réfraction (N20/D) | 1.378~1.384 |
Odeur | Forte odeur d'ammoniac |
Avertissement de danger | Hautement toxique !Liquide inflammable! |
Marque | Chimique Ruifu |
Article | Caractéristiques |
Apparence | Liquide incolore |
Essai | 24,5 ~ 25,5 % (dosage par titrage) |
Chlorure | <500ppm |
Potassium (K) | <5 ppm |
Sodium (Na) | <5 ppm |
Couleur | <50APHA |
Norme d'essai | Norme d'entreprise |
Usage | pour la recherche de photorésist |
Emballer: 25 kg/tambour, ou selon l'exigence du client.
Condition de stockage:Conserver dans des contenants scellés dans un endroit frais et sec ;Protégez de la lumière et de l'humidité.
L'hydroxyde de tétraméthylammonium (TMAH) (CAS : 75-59-2) est un sel d'ammonium quaternaire généralement utilisé comme agent de gravure anisotrope pour le silicium en raison de son taux de gravure élevé du silicium, solvant basique dans le développement de la résine photosensible acide dans le procédé de photolithographie, comme tensioactif dans la synthèse de ferrofluide et comme réactif polarographique.Il trouve une application dans la production de silicium organique, où il est utilisé comme azurant de surface et agent de nettoyage pour tranches de silicium informatique.Il participe également à la purification de certains éléments métalliques.