水酸化テトラメチルアンモニウム (TMAH) CAS 75-59-2 (25% 水溶液)
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| 化学名 | 水酸化テトラメチルアンモニウム (25% 水溶液) |
| 同義語 | TMAH (25% 水溶液) |
| CAS番号 | 75-59-2 |
| CAT番号 | RF-PI1749 |
| 在庫状況 | 在庫あり、生産スケールは最大トンまで |
| 分子式 | (CH3)4NOH |
| 分子量 | 91.15 |
| 屈折率(N20/D) | 1.378～1.384 |
| 臭い | 強いアンモニア様臭 |
| 危険警告 | 非常に有毒です！引火性液体！ |
| ブランド | 瑞風化学 |
| アイテム | 仕様 |
| 外観 | 無色の液体 |
| アッセイ | 24.5～25.5% (滴定による定量) |
| 塩化 | <500ppm |
| カリウム(K) | <5ppm |
| ナトリウム(Na) | <5ppm |
| 色 | <50APHA |
| 試験規格 | エンタープライズ標準 |
| 使用法 | フォトレジスト研究用 |
パッケージ: 25kg/ドラム、または顧客の要求に従って。
保存条件：密閉容器に入れて涼しく乾燥した場所に保管してください。光や湿気から守ります。
水酸化テトラメチルアンモニウム (TMAH) (CAS: 75-59-2) は、シリコンのエッチング速度が高いため、シリコンの異方性エッチング液として一般に使用される第 4 級アンモニウム塩であり、フォトリソグラフィープロセスにおける酸性フォトレジストの開発における塩基性溶媒、および界面活性剤として使用されます。磁性流体の合成およびポーラログラフ試薬として。有機シリコンの製造に応用され、コンピューターのシリコンウェーハの表面光沢剤や洗浄剤として使用されます。また、一部の金属元素の浄化にも関与します。
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