TMAH(Tetramethylammonium Hydroxide) CAS 75-59-2(25% 수용액)
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| 화학명 | 수산화테트라메틸암모늄(25% 수용액) |
| 동의어 | TMAH(25% 수용액) |
| CAS 번호 | 75-59-2 |
| 고양이 번호 | RF-PI1749 |
| 재고현황 | 재고 있음, 생산 규모 최대 톤 |
| 분자식 | (CH3)4NOH |
| 분자 무게 | 91.15 |
| 굴절률(N20/D) | 1.378~1.384 |
| 냄새 | 강한 암모니아 같은 냄새 |
| 위험 경고 | 고독성!발화 가능한 액체! |
| 상표 | 루이푸 화학 |
| 안건 | 명세서 |
| 모습 | 무색 액체 |
| 시험 | 24.5~25.5%(적정법) |
| 염화물 | <500ppm |
| 칼륨(K) | <5ppm |
| 나트륨(Na) | <5ppm |
| 색상 | <50APHA |
| 테스트 표준 | 엔터프라이즈 표준 |
| 용법 | 포토레지스트 연구용 |
패키지: 25kg/Drum, 또는 고객의 요구 사항에 따라.
보관 조건:서늘하고 건조한 곳에 밀봉된 용기에 보관하십시오.빛과 습기로부터 보호하십시오.
TMAH(Tetramethylammonium Hydroxide)(CAS: 75-59-2)는 실리콘 식각율이 높아 실리콘의 이방성 식각액으로 일반적으로 사용되는 4급 암모늄염으로, 포토리소그래피 공정에서 산성 감광제를 개발할 때 염기성 용매로, ferrofluid의 합성 및 polarographic 시약으로.그것은 컴퓨터 실리콘 웨이퍼 표면 광택제 및 세정제에 사용되는 유기 실리콘 생산에 적용됩니다.또한 일부 금속 원소의 정화에도 관여합니다.
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