Tetramethylammonium Hydroxide (TMAH) CAS 75-59-2 (สารละลายในน้ำ 25%)

Tetramethylammonium Hydroxide (TMAH) (CAS: 75-59-2) เป็นเกลือแอมโมเนียมสี่ส่วนที่ใช้โดยทั่วไปเป็นสารกัดกรดแบบแอนไอโซโทรปิกสำหรับซิลิกอน เนื่องจากอัตราการกัดซิลิกอนสูง ซึ่งเป็นตัวทำละลายพื้นฐานในการพัฒนาสารก่อมะเร็งที่เป็นกรดในกระบวนการโฟโตลิโทกราฟี เป็นสารลดแรงตึงผิวใน การสังเคราะห์เฟอร์โรฟลูอิดและเป็นโพลาโรกราฟิกรีเอเจนต์พบการประยุกต์ใช้ในการผลิตซิลิกอนอินทรีย์ซึ่งใช้สำหรับสารเพิ่มความขาวผิวเวเฟอร์ซิลิคอนและสารทำความสะอาดในคอมพิวเตอร์นอกจากนี้ยังเกี่ยวข้องกับการทำให้ธาตุโลหะบางชนิดบริสุทธิ์